JEL 4轴圆柱坐标洁净机械手臂 STCR4160SN 芯钛科半导体设备(上海)有限公司
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晶圆搬运机械手
JEL STCR4160SN
JEL STCR4160SN
4轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品特点
使用环境:大气环境
手臂 :双臂
到达距离:315mm (手臂第3关节中心基准)
升降轴最大行程: 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬运质量: 3kg (手臂第3关节处基准)
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