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STK-6050
高级半自动晶圆减薄贴膜机
Peculiarity
柔性滚轮贴膜+弹簧刀系统适用于6"/ 8"晶圆
自动胶膜进给
自动防静电滚轮贴膜
自动切割、收废膜、收隔离纸
配置光幕保护功能
配置紧急停机按钮
人工仅需上下料

机器性能
晶圆收益:≥99.9%
贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)
每小时产能:≥ 70 片晶圆
MTBF:>168 小时
MTTR:<1 小时
停机时间: <3%
更换产品时间:≤ 10 分钟