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STK-7150
高级半自动晶圆切割贴膜机
Peculiarity
自动滚轴贴膜技术
手动放置和取出晶圆/承载环
自动胶膜进给和贴膜
自动收隔离纸,适用于UV膜和非UV膜
自动圆形切刀切割膜
自动撕膜,自动收废膜 (选项)
晶圆台盘温度室温~100℃
标准8”、12”晶圆台盘用于8”、12”晶圆
PLC控制,带10”触摸屏
配置光帘保护功能,和紧急停机按钮
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控

机器性能
晶圆收益:≥99.9%
贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)
每小时产能:≥ 70片晶圆
MTBF:>168小时
MTTR:<1小时
更换产品时间:≤ 10分钟