STK-5120
半自動ウェハフィルムリムーバー
特徴です
卓上型 / 8 インチ、12 インチウェハ用 / 簡単操作
ウェハの厚さ:150~750 um
テープ剥離方式:テープによる剥離
テープ剥離角度:45 度未満で、5°~45° に調節可能
ウェハ用の台盤:汎用(一体型)テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
台盤加熱可能:室温~100℃
取り扱い方式:ウェハを手動で置きと取り出し
ウエハー位置決め:エア駆動Pin Stopper
コントロールユニット:PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護:緊急停止ボタンをあり
体積:670 mm(幅)×1180mm(奥行き)×1000 mm(ライト含む高さ)
本体重量:130kg