STK-5020
半自動ウェハフィルムリムーバー
特徴です
卓上型 / 4"-8"ウェハ用 / 簡単操作
ウェハの厚さ:150~750 um
フィルム剥離方式:テープによる剥離
フィルム剥離角度:45 度未満で、5°~45° にて調節可能
ウェハ用の台盤:汎用(一体型)テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
台盤加熱可能:室温~100℃
取り扱い方式:ウェハを手動で置きと取り出し
ウエハー位置決め:エア駆動Pin Stopper
コントロールユニット:PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護:緊急停止ボタンあり
体積:670mm(幅)×1180mm(奥行き)×1000mm(シグナルタワー含む高さ)
本体重量:130kg