STK-6020
ウェハ薄化前の半自動ウェハラミネーター
特徴です
ウェハサイズ:6”& 8”
ウェハの厚さ:300~750um
ウェハの材質:Si、GaAs及びその他
テープ種類:ブルーテープとUVテープ(粘着力≤8N/20mm)
テープ幅:240~340mm;長さ:100M;厚さ:0.05~0.2mm
貼り合せ原理:静電気防止ローラーでの貼合
ラミネート動作:(自動フィルム引き)とラミネート
"ウェハ用の台盤:汎用(一体型)テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
台盤の温度:室温~100℃"
取り扱い方式:ウェハを手動で取り置き
静電気防止:テフロン静電気防止コーティング台盤/静電気防止ローラーでの貼合/イオンナイザー
カッティングシステム:直線型カッター及び円形カッター、8"のノッチカッティングなし、カッター加熱温度:室温~120℃
ウエハー位置決め:エア駆動Pin Stopper
コントロールユニット:PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護:緊急停止ボタンあり
電源&電圧:単相 220V&10A
圧縮空気:圧力5KgのCDA、流量は100L/min
外観:白色塗装金属外殻
体積:670 mm(幅)×1180 mm(奥行)×1000 mm(高さ)(シグナルタワー含め)
本体重量:140kg