STK-7120
卓上型半自動ウェハラミネーター
特徴です
ウェハの直径:8”& 12”
ウェハの厚さ:100~750um
ウェハの材質:Si、GaAs及びその他
テープ種類:ブルーテープとUVテープ(粘着力≤8N/20mm)
テープ幅:300~400mm;長さ:100M;厚さ:0.05~0.2mm
ウエハフレーム:8"/12" DISCO標準フレーム対応可能
貼り合せ原理:静電気防止ローラーでの貼合
ウェハ用の台盤:汎用(一体型)テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
取り扱い方式:ウェハ/ウエハフレームを手動で取り置き
静電気防止:テフロン静電気防止コーティング台盤/静電気防止ローラーでの貼合/イオンナイザー
カッティングシステム:円形カッター及び直線型カッター
ウェハ位置決め:ウェハ用エア位置決めピン/ウエハリング位置決めスプリングピン
コントロールユニット:PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護:緊急停止ボタンあり
電源&電圧:単相 220V&10A
圧縮空気:圧力5KgのCDA、流量は100L/min
外観:白色塗装金属外殻
体積:670mm(幅)×1180mm(奥行)×1000mm(高さ)(シグナルタワー含め)
本体重量:140kg