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トップペ 製品です STK-7200R
STK-7200R
全自動ウエハーローラーマウンター
特徴です
全自動ウエハマウンター
6" 、8" ウェハに用の標準 6" 、8" ウェハ用台盤
ウエハフレーム：6"/8" DISCO標準フレーム対応可能
日本製JELのウェハ搬送ロボット＆アライナー
汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
ウェハ用の台盤：汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
体積：1750 mm（幅）×1350 mm（奥行）×1800 mm（高さ）
本体重量：870kg
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