JEL SAL38C3HV
アライナ一
特徴です
ウエハーサイズ8〜12インチに適用
シリコンウェーハ、BGテープ（乳白色）付シリコンウェーハ、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずに位置決め
独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵した設計
ウェーハサイズ、材質にあわせたスピンドルの直径、形状、材質の変更対応可、ベルヌーイスピンドルも搭載可能
制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能
ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きもオプションで対応
Z軸付くアライナ一もオプションで対応
