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4轴水平多关节型洁净机械手臂
晶圆键合机
晶圆解键合机
半自动晶圆涂胶机
半自动临时晶圆键合机
全自动晶圆倒片机 晶圆传片机
晶圆搬运机械手臂的主要作用是在半导体制造的不同环节（如光刻、蚀刻、沉积、检测等）之间，实现晶圆的自动化、无污染、高精度转移。
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