STK-7120
半自动晶圆切割贴膜机
产品特点
晶圆直径:8”& 12”
晶圆厚度:100~750微米
晶圆种类:硅, 砷化镓或其它材料
膜种类:蓝膜或者UV膜;(粘着力≤8N/20mm)
膜宽度:300~400毫米;长度:100米;厚度:0.05~0.2毫米
晶圆承载环:8”或12”DISCO标准
贴膜原理:防静电滚轮贴膜
晶圆台盘:通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘
装卸方式:晶圆/承载环手动放置与取出
防静电控制:防静电特龙隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/离子风扇
切割系统:手动轨迹式圆切刀和直切刀
定位方式:晶圆气动销定位/承载环弹簧销定位
控制单元:基于PLC 控制,带7”触摸屏
安全防护:配置紧急停机按钮
电源电压:单相交流电220V,10A
压缩空气:5 公斤清洁干燥压缩空气,流量 100 升/分钟
机器外壳:白色喷塑金属外壳
体积:670毫米(宽)*1180毫米(深)*1000毫米(含灯高)
净重:140公斤