STK-7080
落地式高级半自动 非接触式晶圆真空贴膜机
产品特点
无滚轮、非接触式真空贴膜技术
适合薄晶圆、砷化镓、氮化嫁等化合物晶圆,只能边缘接触的晶圆。
自动胶膜进给和贴膜
自动收隔离纸,适用于UV膜和非UV膜
自动圆形切刀切割膜
自动撕膜,自动收废膜
手动放置和取出晶圆/承载环
6”、8”非接触式晶圆台盘,有效应对正面不可覆压的晶圆
PLC控制,带10”触摸屏
配置光帘保护功能,和紧急停机按钮
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控