开展首日,现场人气爆棚,芯钛科半导体凭借多款自研高端半导体设备强势出圈,展台前咨询客商络绎不绝,精准展现国产半导体设备的硬核实力与创新底气。
2Port EFEM:高效晶圆传输,赋能产线提质增效
EFEM(设备前端模块)是半导体晶圆制造的核心枢纽,承担着晶圆存储、传输、对接工艺设备的关键使命,更是适配TAIKO WAFER这类高端薄化晶圆高效流转的核心载体。芯钛科本次展出的2Port EFEM,针对柔性化产线需求优化设计,结构紧凑、占地空间小,同时兼顾传输效率与运行稳定性,全方位满足常规晶圆及TAIKO WAFER的高精度传输需求。
TAIKO WAFER作为高端薄化晶圆,具备专属工艺特性:保留晶圆外围约3mm的环形支撑边,中心区120um薄化,凭借独特结构成为先进封装领域的核心基材,广泛应用于Fan-out/Fan-in、3D堆叠、TSV(硅通孔)等先进封装工艺。针对这类薄化晶圆易碎裂、崩边的痛点,2Port EFEM依托专属优化设计,搭配边缘框架保护机制,配合伯努利方式搬运,实现自动传输与装片全程无磕碰、无应力,彻底解决薄化晶圆碎裂、崩边难题,保障晶圆完整性。




自研SMIF系统:筑牢洁净传输防线
SMIF系统是保障晶圆在传输过程中免受微尘污染的核心部件,长期以来被海外厂商主导。这款自研产品具备高密封性、强兼容性、长使用寿命等特点,可有效隔绝外界污染物,维持晶圆传输环境的超高洁净度;同时适配主流晶圆规格,支持与各类EFEM、机械手、工艺设备无缝对接,助力半导体厂商摆脱进口依赖,构建自主可控的产线体系。
JEL机械手:精密操控专家,极致稳定可靠
晶圆搬运的精度直接决定芯片良率,芯钛科JEL机械手聚焦精密操控技术,采用高精度伺服控制系统与轻量化机械结构,实现微米级取放精度,运行平稳无抖动,最大限度避免晶圆磕碰、划伤风险。
该机械手具备响应速度快、重复定位精度高、维护成本低等优势,可适配不同规格晶圆,凭借出色的稳定性与耐用性,获得现场客商的高度认可。




深耕半导体设备赛道,芯钛科助力国产替代提速
近年来,半导体产业国产化进程加速,核心设备自主可控成为行业共识。芯钛科半导体始终聚焦半导体前端设备与精密部件研发,坚持技术创新与品质至上,不断攻克关键核心技术,打造兼具性价比与可靠性的国产设备方案。
本次SEMICON CHINA 2026展会首日,芯钛科展台不仅收获了大量行业客户的关注与合作意向,更与业内专家、同行展开深度交流,共同探讨半导体设备技术发展趋势。未来,芯钛科将继续深耕细作,持续优化产品性能、拓展产品矩阵,以硬核技术赋能半导体产业链,为国产半导体设备崛起贡献力量。