JEL SSCR3090S
晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
产品特点
超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于实现设备的小型化。
机械手臂标准臂长：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴使用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
