JEL SCR3160CSN
3轴圆柱坐标洁净机械手臂(采用闭环位置控制)
产品特点
在闭坏控制方式机械手臂加上多轴规格
适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂
在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于2寸-12寸晶圆传输的新型单臂机械手
电机配备绝对值编码器，实时反馈位置信息，无需寻原点
无需更换电池的绝对值编码器
可搬运重量：手臂第3关节处基准3kg以下
机械手臂标准臂长：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
可根据设备布局选择基座固定方式，或法兰固定方式
可选伯努利方式手指（Option）
