STK-7200V
全自动切割贴膜机(真空)
产品特点
全自动晶圆贴膜
无滚轮的特殊真空安装技术(滚轮安装可选)
标准6”、8”晶圆台盘用于6”、8”晶圆
晶圆承载环:6”/8”DISCO 标准铁环
日本进口JEL晶圆搬运机械手臂,晶圆校准器
通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘
体积:1750毫米(宽)*1350毫米(深)*1800毫米(高)
净重:890公斤