5轴水平多关节型洁净机械手臂

5轴水平多关节型洁净机械手臂 - 芯钛科半导体

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JEL GTVCR5330

晶圆搬运机械手臂
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂

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JEL GTVCR5330 晶圆搬运机械手臂 5轴真空水平多关节型洁净机械手臂 5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列。实现了下降价格，但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能，功能。能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积。非常适合inline设备。机械手臂标准臂长：280mm, 330mm 手臂关节处使用磁流体密封装置真空密封：磁流体密封装置以及波纹管提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间配备动作监视器控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指 5轴水平多关节型洁净机械手臂

JEL GTFR5280

晶圆搬运机械手臂
5轴水平多关节型洁净机械手臂

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JEL GTFR5280 晶圆搬运机械手臂 5轴水平多关节型洁净机械手臂可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂。单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。与我司以往产品的GTCR相比，减少动作禁止区域、速度限制的影响，提高传片效率。机械手臂可以单独对应3个FOUP（280mm臂长）双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间绝对值编码器规格的AC伺服电机, 无需电池/直驱电机晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 5轴水平多关节型洁净机械手臂

JEL GTCR5280

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JEL GTCR5280 晶圆搬运机械手臂 5轴水平多关节型洁净机械手臂可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm 机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）或者3个FOUP（280mm臂长）双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式配备动作监视器控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化能够高速，高精度地搬运半导体晶圆晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 5轴水平多关节型洁净机械手臂

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