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首页 产品中心 晶圆搬运机械手
晶圆临时键合系统
晶圆搬运机械手
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晶圆贴膜机
JEL SCR3160CSN
JEL SCR3160CSN

晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标洁净机械手臂(采用闭环位置控制)

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 JEL SCR3160CSN 晶圆搬运机械手臂 3轴圆柱坐标洁净机械手臂(采用闭环位置控制) 在闭坏控制方式机械手臂加上多轴规格 适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂 在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于2寸-12寸晶圆传输的新型单臂机械手 电机配备绝对值编码器，实时反馈位置信息，无需寻原点 无需更换电池的绝对值编码器 可搬运重量：手臂第3关节处基准3kg以下 机械手臂标准臂长：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 可根据设备布局选择基座固定方式，或法兰固定方式 可选伯努利方式手指（Option） 晶圆搬运机械手
JEL SVCR3260
JEL SVCR3260

晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标洁净机械手臂

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 JEL SVCR3260 晶圆搬运机械手臂 3轴圆柱坐标洁净机械手臂 真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列。适用于真空腔室内的晶圆搬运。 机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm 手臂关节处使用磁流体密封装置 真空密封：磁流体密封装置和波纹管 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 可以选配2相步进电机规格 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 晶圆固定方式：下托式 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指 晶圆搬运机械手
JEL SWCR3160CS
JEL SWCR3160CS

晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标洁净机械手臂 (防水式）

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 JEL SWCR3160CS 晶圆搬运机械手臂 3轴圆柱坐标洁净机械手臂 (防水式） 防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构） 在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条 Z轴的防水结构可以使用蛇腹管 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用2相步进电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式： 真空吸附式，下托式，边缘夹持式 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指 晶圆搬运机械手
JEL STCR4160SN
JEL STCR4160SN

晶圆搬运机械手臂
4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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 JEL STCR4160SN 晶圆搬运机械手臂 4轴圆柱坐标洁净机械手臂 使用环境：大气环境 手臂 ：双臂 到达距离：315mm (手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程： 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量： 3kg (手臂第3关节处基准) 晶圆搬运机械手
JEL GCR4210
JEL GCR4210

晶圆搬运机械手臂
4轴水平多关节型洁净机械手臂

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 JEL GCR4210 晶圆搬运机械手臂 4轴水平多关节型洁净机械手臂 超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列。 适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运。 机械手臂标准臂长:210mm, 280mm； 机械手臂可以单独对应2个FOUP； 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式； 配备动作监视器； 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式； 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机； S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板； AC伺服电机的采用以及，对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化； 比GHR4000类型速度快了1.8倍； 晶圆固定方式：真空吸附式, 下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式； 手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质； 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指。 晶圆搬运机械手
JEL GCR4280
JEL GCR4280

晶圆搬运机械手臂
4轴水平多关节型洁净机械手臂

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 JEL GCR4280 晶圆搬运机械手臂 4轴水平多关节型洁净机械手臂 超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型洁净机械手GCR4000-AM系列 适用于支持300mm及以内都可以搬运的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运 机械手臂可以单独对应3个直线放置FOUP 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板 手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指 晶圆搬运机械手
JEL GTVCR5330
JEL GTVCR5330

晶圆搬运机械手臂
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂

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 JEL GTVCR5330 晶圆搬运机械手臂 5轴真空水平多关节型洁净机械手臂 5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列。 实现了下降价格，但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能，功能。 能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。 通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积。 非常适合inline设备。 机械手臂标准臂长：280mm, 330mm 手臂关节处使用磁流体密封装置 真空密封：磁流体密封装置以及波纹管 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指 晶圆搬运机械手
JEL GTFR5280
JEL GTFR5280

晶圆搬运机械手臂
5轴水平多关节型洁净机械手臂

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 JEL GTFR5280 晶圆搬运机械手臂 5轴水平多关节型洁净机械手臂 可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂。 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。 适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。 与我司以往产品的GTCR相比，减少动作禁止区域、速度限制的影响，提高传片效率。 机械手臂可以单独对应3个FOUP（280mm臂长） 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 绝对值编码器规格的AC伺服电机, 无需电池/直驱电机 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 晶圆搬运机械手
JEL GTCR5280
JEL GTCR5280

晶圆搬运机械手臂
5轴水平多关节型洁净机械手臂

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 JEL GTCR5280 晶圆搬运机械手臂 5轴水平多关节型洁净机械手臂 可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。 适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。 机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm 机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长） 或者3个FOUP（280mm臂长） 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化 能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 晶圆搬运机械手
JEL JVCR4330
JEL JVCR4330

晶圆搬运机械手臂
Micro LED用真空水平多关节机械手臂

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 JEL JVCR4330 晶圆搬运机械手臂 Micro LED用真空水平多关节机械手臂 Micro LED用4轴真空水平多关节洁净机械手臂 可对应平行配置的布局 可对应搬运重量10kg 晶圆搬运机械手
JEL JCR4400
JEL JCR4400

晶圆搬运机械手臂
带有对应PLP自动校准功能的机械手臂

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 JEL JCR4400 晶圆搬运机械手臂 带有对应PLP自动校准功能的机械手臂 带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂 适用于并列配置工位的传送 非接触校准功能可实现高精度的搬运 可搬运重量10kg 晶圆搬运机械手
JEL STCR4160S
JEL STCR4160S

晶圆搬运机械手臂
4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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 JEL STCR4160S 晶圆搬运机械手臂 4轴圆柱坐标洁净机械手臂 超洁净无尘间用4轴圆柱坐标型洁净机械手臂STCR4000S系列。 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运，双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间。 机械手臂标准臂长：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用2相步进电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指 晶圆搬运机械手
JEL MTCR4160
JEL MTCR4160

晶圆搬运机械手臂
4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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 JEL MTCR4160 晶圆搬运机械手臂 4轴圆柱坐标洁净机械手臂 超洁净无尘间用300mm晶圆对应MTCR4000系列。 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求。 比MTHR系列具有更好的性价比优势。 机械手臂标准臂长:160mm, 200mm 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 晶圆搬运机械手
JEL SSCR3090S
JEL SSCR3090S

晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

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 JEL SSCR3090S 晶圆搬运机械手臂 3轴圆柱坐标型洁净机械手臂 超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列。 适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于实现设备的小型化。 机械手臂标准臂长：90mm 同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴使用2相步进电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 晶圆搬运机械手
JEL MCR3160C
JEL MCR3160C

晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标洁净机械手臂

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 JEL MCR3160C 晶圆搬运机械手臂 3轴圆柱坐标洁净机械手臂 超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列。 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求。 比MHR系列具有更好的性价比优势。 机械手臂标准臂长:160mm, 200mm 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 晶圆搬运机械手
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